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中國科學(xué)家創(chuàng)新增材制造方法 碳化硅反射鏡性能獲大提升

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中國科學(xué)家創(chuàng)新增材制造方法 碳化硅反射鏡性能獲大提升

2026年04月13日 22:04 來源:中國新聞網(wǎng)
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  中新網(wǎng)長春4月13日電 (記者 郭佳)中國科學(xué)家創(chuàng)新提出“石墨/碳化硅復(fù)合粉末增材制造方法”,將碳化硅反射鏡中的碳化硅含量大幅提升18.18%,并實(shí)現(xiàn)高精度鏡體制備。這是記者13日從中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所獲悉的最新突破。

  碳化硅反射鏡在高端光學(xué)系統(tǒng)中作用關(guān)鍵,但傳統(tǒng)增材制造過程中面臨著碳化硅顆粒流動性差與游離硅物相調(diào)控難的雙重瓶頸。該所光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室張舸研究員團(tuán)隊(duì)與中國科學(xué)院空間應(yīng)用工程與技術(shù)中心王功研究員團(tuán)隊(duì)合作,利用石墨兼具固體潤滑與促進(jìn)反應(yīng)的雙重功效,一舉突破兩大技術(shù)瓶頸。

  實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示,采用該方法后,鏡體中碳化硅含量由46.36%提升至64.54%。團(tuán)隊(duì)成功制備出直徑220毫米的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)碳化硅鏡體,全鏈路尺寸變形量控制在0.5%以內(nèi),經(jīng)加工后光學(xué)表面面形精度優(yōu)于λ/50 RMS(λ=632.8 nm),表面粗糙度僅為0.772 nm。(完)

【編輯:梁異】
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